No strukturālā viedokļa mērķis galvenokārt sastāv no divām daļām: "mērķa tukša" un "aizmugures plāksne". Mērķa sagatave ir mērķa materiāls, ko bombardē ātrgaitas jonu stars. Tā ir izsmidzināšanas mērķa galvenā daļa un ietver augstas tīrības pakāpes metāla un graudu orientācijas kontroli. Aizmugurējā plāksne galvenokārt spēlē izsmidzināšanas mērķa fiksēšanas lomu un ietver metināšanas procesu. Pašlaik parastie izsmidzināšanas mērķa aizmugures plāksnes materiāli galvenokārt ir bezskābekli saturošs varš, vara sakausējums, molibdēns un nerūsējošā tērauda cauruļu aizmugures materiāli.
1. Aizmugures plāksnes uzstādīšanas iemesli
Mērķa komplekts sastāv no mērķa sagataves ar kombinētu izsmidzināšanas veiktspēju un aizmugures plāksni, kas apvienota ar mērķa sagatavi ar metināšanas palīdzību. Izsmidzināšanas procesā mērķa komplekts atrodas skarbā darba vidē. Viena aizmugures plaknes puse tiek spēcīgi atdzesēta ar noteiktu dzesēšanas ūdens spiedienu, savukārt viena mērķa sagataves puse atrodas augstas temperatūras vakuuma vidē, tāpēc mērķa mezgla pretējās pusēs veidojas milzīga spiediena starpība. Turklāt vienu mērķa pusi bombardē dažādas daļiņas augstsprieguma elektriskajā laukā un spēcīgā magnētiskajā laukā, un rodas daudz siltuma.
Tik skarbā vidē, lai nodrošinātu plēves kvalitātes stabilitāti un mērķa montāžas kvalitāti, mērķa sagataves un aizmugures plātnes kvalitāte un metināšanas savienojuma ātrums kļūst arvien prasīgāki, pretējā gadījumā to ir viegli vadīt. mērķa mezgla deformācijai un plaisāšanai karstos apstākļos, kas ietekmē plēves kvalitāti un pat izraisa izsmidzināšanas pamatnes bojājumus.
2. Materiāli aizmugurējās plāksnes izgatavošanai
Pamatnes plāksni galvenokārt izmanto, lai nostiprinātu izsmidzināšanas mērķa materiālu, un tai ir jābūt labai elektrovadītspējai un siltuma vadītspējai. Magnetrona izsmidzināšanas pārklāšanas procesā mērķim ir jāiztur gan dzesēšanas ūdens spiediens aizmugurē, gan vakuuma negatīvais spiediens priekšpusē. Vara un vara sakausējuma aizmugures plāksnes bieži tiek izvēlētas kā mērķa grīdlīstes, jo tām ir šādas priekšrocības:
(1) Augsta siltumvadītspēja: tā var efektīvi novadīt siltumu, kas rodas uz mērķa virsmas izsmidzināšanas procesā, uz dzesēšanas sistēmu. Tas palīdz uzturēt mērķa temperatūru stabilu un novērš mērķa plaisāšanu vai veiktspējas pasliktināšanos pārkaršanas dēļ.
(2) Ir augsta elektriskā vadītspēja: tas var uzlabot strāvas vadīšanas efektivitāti izsmidzināšanas procesa laikā. Tas palīdz samazināt pretestības zudumus starp mērķi un magnetrona izsmidzināšanas sistēmu, tādējādi uzlabojot izsmidzināšanas efektivitāti.
(3) Augsta mehāniskā izturība: var nodrošināt stabilu atbalstu. Tas palīdz nodrošināt, ka mērķis neplaisā vibrācijas vai sprieguma dēļ izsmidzināšanas procesa laikā.
(4) Vienota izsmidzināšana: vara aizmugures plāksne var uzlabot mērķa elektromagnētiskā lauka sadalījumu, tādējādi panākot vienmērīgāku izsmidzināšanu un uzlabojot plēves viendabīgumu.
(5) Pagariniet mērķa kalpošanas laiku: vara atbalsta plāksnes augstās siltumvadītspējas un elektrovadītspējas dēļ var samazināt mērķa darba temperatūru un pretestības zudumu, tādējādi palēninot mērķa nodilumu un pagarinot tā nodilumu. kalpošanas laiks.
3. Aizmugures iesiešanas process
(1) Pirms saistīšanas apstrādājiet mērķa virsmu un aizmuguri;
(2) Nostipriniet aizmugures mērķi uz sildīšanas galda, novietojiet mērķi uz aizmugures plāksnes un uzkarsējiet to līdz saistīšanas temperatūrai;
(3) Metalizējiet mērķi un aizmugures mērķi un pielodējiet mērķi pie vara aizmugures plāksnes;
(4) Savienojiet mērķi un aizmugures mērķi, novietojiet pretsvaru uz mērķa virsmas prom no vara pamatnes plāksnes un noņemiet pretsvaru, kad mērķis ir atdzisis;
(5) Dzesēšanas pēcapstrāde.
