Magnetronu izsmidzināšanas pārklājums ir jauna veida fizikālā tvaika pārklāšanas metode, kurā tiek izmantota elektronu lielgabala sistēma, lai emitētu un fokusētu elektronus uz pārklājamo materiālu, lai izsmidzinātie atomi ievērotu impulsa pārveidošanas principu, lai materiālam būtu augstāks mehāniskais spēks. īpašības. Pārklājamo materiālu sauc par izsmidzināšanas mērķi, kas galvenokārt ietver metālus, sakausējumus un keramikas savienojumus. FANMETAL var nodrošināt klientiem augstas kvalitātes metāla mērķus, piemēram,Tīra hroma izsmidzināšanas mērķis, Zelta izsmidzināšanas mērķis,Titāna alumīnija izsmidzināšanas mērķisun vara izsmidzināšanas mērķis. Lūdzu, nosūtiet mums e-pastu, lai pastāstītu mums par savām vajadzībām.
1. Tīrība
Tīrība ir viens no galvenajiem mērķa darbības rādītājiem, jo mērķa tīrībai ir liela ietekme uz filmas veiktspēju. Tomēr praktiskos lietojumos mērķa tīrības prasības arī ir atšķirīgas. Piemēram, strauji attīstoties mikroelektronikas nozarei, silīcija plāksnīšu izmērs ir pieaudzis no 6", 8" līdz 12" un vadu platums ir samazināts no 0,5 um uz 0 .25um, 0.18um vai pat 0.13um. Iepriekšējā mērķa tīrība bija 99,995 procenti. Tas var izpildīt procesa prasības 0,35 um IC, savukārt sagatavošana {{15 }}.18um līnijām nepieciešami 99,999 procenti vai pat 99,9999 procenti no mērķa tīrības.
2. Piemaisījumu saturs
Piemaisījumi mērķa cietā un skābeklis un mitrums porās ir galvenie nogulsnētās plēves piesārņojuma avoti. Mērķa materiāliem dažādiem mērķiem ir atšķirīgas prasības attiecībā uz dažādu piemaisījumu saturu. Piemēram, tīra alumīnija un alumīnija sakausējuma mērķiem, ko izmanto pusvadītāju rūpniecībā, ir īpašas prasības attiecībā uz sārmu metālu saturu un radioaktīvo elementu saturu.
3. Blīvums
Lai samazinātu poras mērķa cietajā vielā un uzlabotu izsmidzinātās plēves veiktspēju, mērķim parasti ir jābūt lielākam blīvumam. Mērķa blīvums ietekmē ne tikai izsmidzināšanas ātrumu, bet arī plēves elektriskās un optiskās īpašības. Jo augstāks mērķa blīvums, jo labāka ir filmas veiktspēja. Turklāt mērķa blīvuma un izturības palielināšana ļauj mērķim labāk izturēt termisko spriegumu izsmidzināšanas procesa laikā. Blīvums ir arī viens no galvenajiem mērķa darbības rādītājiem.
4. Graudu lielums un graudu lieluma sadalījums
Parasti mērķa materiāls ir polikristāliska struktūra, un graudu izmērs var svārstīties no mikroniem līdz milimetriem. Tam pašam mērķmateriālam mērķa izsmidzināšanas ātrums ar smalkiem graudiem ir ātrāks nekā mērķa ar rupjiem graudiem; un izsmidzinot uzklātās plēves biezuma sadalījums ar mazāku graudu izmēra starpību (vienmērīgs sadalījums) ir vienmērīgāks.
