1. Tīrība
Titāna mērķa tīrībai ir liela ietekme uz izsmidzināto plēvju īpašībām. Jo augstāka ir mērķa tīrība, jo mazāk piemaisījumu elementu daļiņu ir izsmidzinātajā plēvē un jo labāka ir plēves veiktspēja (piemēram, izturība pret koroziju, optiskās un elektriskās īpašības). Praktiskā pielietojumā titāna mērķu tīrības prasības dažādiem mērķiem ir atšķirīgas. . Piemēram, vispārīgo dekoratīvo pārklājumu mērķu tīrības prasības nav stingras, savukārt integrālo shēmu, displeja korpusu un citu jomu mērķiem ir daudz augstākas prasības attiecībā uz tīrību, parasti aptuveni 99,999 procenti vai vairāk.
2. Vidējais graudu izmērs
Parasti titāna mērķim ir polikristāliska struktūra, un graudu izmērs var svārstīties no mikroniem līdz milimetriem. Smalka izmēra graudu mērķa izsmidzināšanas ātrums ir ātrāks nekā rupji graudainajam mērķim. Arī izsmidzinātās plēves biezuma sadalījums ir samērā vienmērīgs. Integrēto shēmu titāna mērķu vidējam graudu izmēram parasti ir jābūt 30 μm robežās, un ultrasmalki graudainu titāna mērķu vidējais graudu izmērs ir mazāks par 10 μm.
3. Kristāla orientācija
Titānam ir cieši iesaiņota sešstūra struktūra. Izsmidzināšanas laikā titāna mērķa atomi tiek viegli izsmidzināti atomu sešstūra izkārtojuma virzienā. Tāpēc, lai sasniegtu augstāko izputināšanas ātrumu, ir iespējams palielināt izsmidzināšanas ātrumu, mainot mērķa kristālisko struktūru. izsmidzināšanas ātrums. Titāna mērķa kristalizācijas virzienam ir arī liela ietekme uz izsmidzinātās plēves slāņa biezuma vienmērīgumu, un plakanā displeja un dekoratīvā pārklājuma plēves izmērs ir salīdzinoši biezs, tāpēc atbilstošā titāna mērķa graudu orientācijas prasības ir salīdzinoši zems.
4. Ģeometrija un izmērs
Tas galvenokārt atspoguļojas apstrādes precizitātē un apstrādes kvalitātē, piemēram, apstrādes lielumā, virsmas līdzenumā, raupjumā utt. Mazs biezums ietekmēs mērķa kalpošanas laiku; pārāk raupja blīvējuma virsma un blīvējuma rieva radīs vakuuma problēmas pēc mērķa uzstādīšanas; Mērķa izsmidzināšanas virsmas raupināšana var padarīt mērķa virsmu pilnu ar izvirzītiem uzgaļiem, uzgaļa efekta ietekmē šo pacelto uzgaļu potenciāls tiks ievērojami palielināts, tādējādi nojaucot dielektrisko izlādi. Tomēr pārāk liels izvirzījums kaitē izsmidzināšanas kvalitātei un stabilitātei.
Mūsu uzņēmums var nodrošināt titāna sakausējumus, piemēramTitāna alumīnija izsmidzināšanas mērķiunTitāna Ti izsmidzinošais mērķis, kā arī dažādas tīrības un formas titāna mērķus, kā arī pieņemt pielāgotus pakalpojumus. Ja nepieciešams, lūdzu, sazinieties ar mums pa e-pastu.
