Mērķa izsmidzināšana, kas ir virsmas inženierijas un plānās kārtiņas tehnoloģijas pamattehnoloģija, attiecas uz jonu vai citu lādētu daļiņu izmantošanu, lai sasniegtu mērķi augstas enerģijas stāvoklī, tādējādi izraisot mērķa atomu vai molekulu kinētiskās enerģijas pārnesi un materiālu transportēšanu. . Ierosinātie atomi vai molekulas atraujas no mērķa virsmas un lielā ātrumā tiek nogulsnētas uz substrāta, veidojot plānu kārtiņu ar vienmērīgu vai specifisku struktūru.
1. Klasifikācija
(1) Līdzstrāvas izsmidzināšana
Princips: līdzstrāvas izsmidzināšanai kā enerģijas avots tiek izmantots pastāvīgs līdzstrāvas barošanas avots, un tas galvenokārt ir piemērots mērķiem ar labu vadītspēju, piemēram, metāliem.
Funkcijas: Tam ir vienkārša aprīkojuma priekšrocības, viegla darbība un augsts nogulsnēšanās ātrums. Tas neattiecas uz izolācijas materiāliem, jo tie nevar nodrošināt efektīvu lādiņa transportēšanu.
(2) Radiofrekvenču izsmidzināšana
Princips: radiofrekvenču izsmidzināšanai tiek izmantota radiofrekvenču jauda (parasti MHz diapazonā), lai varētu izsmidzināt arī nevadošus materiālus (piemēram, keramiku, oksīdus).
Īpašības: spēj izsmidzināt izolācijas materiālus ar augstāku nogulsnēšanās viendabīgumu. Tomēr sarežģītās barošanas un vadības sistēmas dēļ izmaksas un uzturēšanas grūtības ir salīdzinoši augstas.
(3) Magnetronu izsmidzināšana
Princips: Pamatojoties uz tradicionālo izsmidzināšanu, magnētiskais lauks tiek ģenerēts, novietojot magnētus mērķa tuvumā, tādējādi uzlabojot plazmas blīvumu un stabilitāti.
Funkcijas: Uzlabota izsmidzināšanas efektivitāte un plēves kvalitāte, samazināts mērķa patēriņš. Var strādāt ar zemāku gaisa spiedienu, tādējādi samazinot gāzes daļiņu ietekmi uz plēvi.
(4) Reaktīvā izsmidzināšana
Princips: izsmidzināšanas procesā reaktīvās gāzes (piemēram, skābeklis, slāpeklis) tiek ievadītas darba atmosfērā, lai ķīmiski reaģētu ar mērķa atomiem, veidojot saliktu plēvi.
Īpašības: Var sagatavot dažādas saliktas plēves, piemēram, oksīdus, nitrīdus, karbīdus utt. Tomēr vadība ir sarežģīta un prasa precīzu reaktīvās gāzes plūsmas ātruma un spiediena regulēšanu.
(5) Lieljaudas impulsa magnetrona izsmidzināšana
Princips: izmantojiet lieljaudas impulsu barošanas avotu, lai īsu laiku radītu augsta blīvuma plazmu, lai palielinātu izsmidzināšanas ātrumu.
Funkcijas: Var iegūt gludākas un blīvākas plēves. Taču lielā enerģijas patēriņa dēļ siltuma vadība un ierīces izturība kļūst par izaicinājumiem.
2.Pieteikums
(1) Pusvadītāju rūpniecība
Izsmidzināšanas tehnoloģija tiek izmantota, lai uzklātu vadošus, izolācijas un ekranēšanas slāņus, kas ir būtiski augstas veiktspējas integrālo shēmu un mikroelektronisko ierīču ražošanā.
(2) Optiskie pielietojumi
Spoguļi un pretatstarojoši pārklājumi: Plānās plēves, kas sagatavotas ar izsmidzināšanas metodēm, var izmantot dažādu optisko komponentu, piemēram, lēcu, lēcu un spoguļu ražošanai lāzersistēmās. Arī saules bateriju gaismu absorbējošo slāni un vadošo slāni bieži sagatavo, izsmidzinot.
(3) Dekoratīvais pārklājums
Automobiļu un būvniecības nozare: uzputinātās plēves tiek izmantotas automobiļu detaļu un būvmateriālu dekoratīviem pārklājumiem, nodrošinot ne tikai estētisku izskatu, bet arī palielinot materiāla nodilumizturību un izturību pret koroziju. Arī plaša patēriņa elektronikas, piemēram, mobilo tālruņu un datoru, korpusi un dekoratīvās daļas bieži izmanto izsmidzināšanas tehnoloģiju, lai pārklātu nodilumizturīgas un skaistas plēves.
(4) Īpašas funkcionālās plēves
Tas var uzklāt augstas cietības un nodilumizturīgas plēves uz instrumentu un veidņu virsmām, lai pagarinātu instrumenta kalpošanas laiku. Turklāt izsmidzinātās plēves var izmantot, lai pielāgotu gaismas caurlaidību viedo logu tehnoloģijā ēkām un automašīnām.
(5) Biomedicīnas joma
Bioloģiski saderīgas plēves parasti tiek uzklātas ar izsmidzināšanas metodēm, lai uzlabotu mākslīgo locītavu vai zobu implantu saderību ar cilvēka ķermeni.
FANMETAL var nodrošināt klientiem dažādus metāla izsmidzināšanas mērķus, piemēram, titāna alumīnija izsmidzināšanas mērķus, volframa mērķus un hroma metāla izsmidzināšanas mērķus utt.
